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SiC功率器件是什么,都有哪些特征?

發(fā)布時間:2022-11-26作者來源:薩科微瀏覽:2969

想要了解SiC功率器件是什么,都有哪些特征?首先我們得知道SiC材料的物性和特征。

SiC(碳化硅)是一種由Si(硅)和C(碳)構(gòu)成的化合物半導(dǎo)體材料。 不僅絕緣擊穿場強(qiáng)是Si的10倍,帶隙是Si的3倍,而且在器件制作時可以在較寬范圍內(nèi)控制必要的p型、n型,所以被認(rèn)為是一種超越Si極限的功率器件材料。
SiC中存在各種多型體(結(jié)晶多系),它們的物性值也各不相同。
用于功率器件制作,4H-SiC最為合適。

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那么SiC功率器件的特征也就很好理解了,SiC的絕緣擊穿場強(qiáng)是Si的10倍,因此與Si器件相比,能夠以具有更高的雜質(zhì)濃度和更薄的厚度的漂移層作出600V~數(shù)千V的高耐壓功率器件。
高耐壓功率器件的阻抗主要由該漂移層的阻抗組成,因此采用SiC可以得到單位面積導(dǎo)通電阻非常低的高耐壓器件。
理論上,相同耐壓的器件,SiC的單位面積的漂移層阻抗可以降低到Si的1/300。
而Si材料中,為了改善伴隨高耐壓化而引起的導(dǎo)通電阻增大的問題,主要采用如IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor : 絕緣柵極雙極型晶體管)等少數(shù)載流子器件(雙極型器件),但是卻存在開關(guān)損耗大 的問題,其結(jié)果是由此產(chǎn)生的發(fā)熱會限制IGBT的高頻驅(qū)動。 SiC材料卻能夠以高頻器件結(jié)構(gòu)的多數(shù)載流子器件(肖特基勢壘二極管和MOSFET)去實(shí)現(xiàn)高耐壓,從而同時實(shí)現(xiàn) "高耐壓"、"低導(dǎo)通電阻"、"高頻" 這三個特性。
另外,帶隙較寬,是Si的3倍,因此SiC功率器件即使在高溫下也可以穩(wěn)定工作。


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